Der außergewöhnliche Ursprung des EUV-Lichts in heißem Zinnplasma

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Extremes ultraviolettes Licht (EUV-Licht) kommt auf der Erde nicht natürlich vor, aber es kann erzeugt werden.

In Nanolithographiegeräten wird EUV-Licht mit Hilfe eines immens heißen Zinnplasmas erzeugt.

Forscher am ARCNL haben in enger Zusammenarbeit mit dem amerikanischen Los Alamos National Laboratory enträtselt, wie ein solches Plasma EUV-Licht auf atomarer Ebene emittiert, und haben unerwartete Entdeckungen gemacht, indem sie berichteten, dass alle angeregten Energiezustände von Zinn die richtige Energie haben, um EUV-Licht zu emittieren.

Die Forscher veröffentlichten ihre Ergebnisse am 11.

Mai in Nature Communications.Energie-Pakete.

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