Neuartige Zinn-“Blasen” treiben Fortschritte bei der Entwicklung integrierter Chips

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Die Verwendung von extrem ultravioletten Lichtquellen bei der Herstellung fortschrittlicher integrierter Chips wurde in Betracht gezogen, aber ihre Entwicklung wurde wegen eines Mangels an effizienten Laserzielen behindert.

Wissenschaftler des Tokyo Institute of Technology (Tokyo Tech) haben kürzlich eine extrem dünne “Blase” aus Zinn entwickelt, die die Erzeugung von extremem Ultraviolett zuverlässig und kostengünstig macht.

Diese neuartige Technologie ebnet den Weg für verschiedene Anwendungen in der Elektronik und zeigt Potenzial in der Biotechnologie und Krebstherapie.Die Entwicklung von Geräten der nächsten Generation erfordert, dass ihr Kern, der so genannte integrierte Schaltkreis-Chip, kompakter und effizienter ist als die bestehenden.

Die Herstellung dieser Chips erfordert leistungsstarke Lichtquellen.

Der Einsatz von Lichtquellen im extrem ultravioletten (EUV) Bereich (eine extrem kurzwellige Strahlung) ist in letzter Zeit populär geworden, aber ihre Erzeugung ist eine Herausforderung.Eine Lösung ist der Einsatz von hochintensiven Lasern: Jüngste Fortschritte in der Lasertechnologie haben zur Entwicklung von Lasern mit höherer Leistung und niedrigeren Preisen geführt.

Hochintensitätslaser setzen Laserplasmen ein, und ihre erste praktische Anwendung ist die Erzeugung von EUV-Licht zur Herstellung integrierter Halbleiterschaltungen.

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Dabei bestrahlen diese Laser ein geeignetes “Target”, wodurch ein Zustand hoher Temperatur und hoher Dichte erzeugt wird.

Aus diesem Zustand wird 13,5 nm Licht mit hoher Helligkeit erzeugt, das bei der Herstellung von integrierten Chips verwendet werden kann.

Aber das ist kein leichtes Unterfangen: Die Kontrolle der Zieldichte, die Licht im EUV-Bereich erzeugen kann, war schwierig.

Zinn wurde als eine Option in Betracht gezogen, aber seine Entwicklung hat sich aufgrund der Unfähigkeit, seine Dynamik zu kontrollieren, stark verzögert.Zu diesem Zweck machte sich ein Team von Wissenschaftlern, darunter Associate Professor Keiji Nagai von Tokyo Tech und Assistant Professor Christopher Musgrave vom University College, Dublin, auf die Suche nach effizienten Laser-Targets.

In einer Studie, veröffentlicht in Scientific….

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